PBT-650晶元清洗机

产品详情:

 名称:晶元清洗机

 品牌:PBT  (BOYISH)

 型号:PBT-650


设备特点:

▲可更换清洗吸盘,可使用4-12英寸的清洗吸盘;
▲操作程序可按作业需求编写调整,设备运行流程、清洗时间及各项参数可自行编制;
▲设备运行状态及参数在线实时监控,自动门配有安全光栅,保证操作安全;
▲采用真空吸附式清洗盘,晶元夹具的取放更安全、方便;
▲摆臂式清洗,清洗范围可编制,适用范围广、无清洗盲区、无二次污染,清洗效果更佳;
▲设备清洗室全密封,且配有自动挡水圈,有效防止二次污染;
▲高速离心设计,转速可调节100-2000R/Min;
▲配备独特的静电消除装置,辅助清洗达到最佳效果,可选择使用氮气;
▲设备配有大面积透明观察窗;
▲缩减宽度的省空间设计,结构紧凑,占用空间小;

▲整机镜面不锈钢机身,能耐酸碱,对工作环境无污染,镜面机壳易于保养。



适用领域:

采用高速离心设计,主要使用于4-12英寸的硅晶圆片的精密清洗;搭配二流体清洗、静电消除/氮气、高速离心等装置,使被清洗件达到干燥、洁净的目的。

工作原理:

放入物料---一键清洗开始,安全门自动关闭---二流体清洗---离心脱水(去静电离子风与加热腔体辅助干燥)---清洗完毕---报警提示---玻璃门自动打开.



 技术参数:

设备外观尺寸 620mm(L)×760mm(W)×1600mm(H)
清洗盘规格 4-12英寸(可选)
清洗盘尺寸 定制
纯水入口径 外径Ø8mm纯水软管
排水出口径 3/4″软管
气源入口径 Ø12mm PU气管
排风口口径 2.5″皮管接头(75mm外径)
电源供应 AC220V; 50HZ ;5A
总功率 1.5KW
耗电量 清洗时: 1.5kw/h
气源供应 0.45-0.7Mpa
DI水供应 >0.35Mpa
清洗压力 3.8-8Kgf/cm²
离心转速 100-2000R/Min
传动马力 1HP
纯水消耗量 0-1000ML/Min
气体消耗量 200-500L/Min
空气过滤方式 一级0.01μm除油过滤器;二级0.01μm精密过滤器
环境过滤方式 0.3μm;99.99%
机器净重 约200KG




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